фотолитография
11фотолитография — Photolithography Фотолитография Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат,… …
12фотолитография — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Integrinių grandynų reikiamų matmenų ir pavidalo komponentams gaminti taikomų fotografinių ir fizikinių bei cheminių procesų, susijusių su vaizdo perkėlimu iš fotokaukės… …
13фотолитография — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Reljefinio piešinio sudarymas fotocheminiais būdais metale, stikle, puslaidininkyje. atitikmenys: angl. photolithography vok. Fotolithografie, f; Lichtsteindruck, m rus.… …
14фотолитография — fotolitografija statusas T sritis chemija apibrėžtis Reljefinio piešinio sudarymas fotocheminiu būdu. atitikmenys: angl. photolithography rus. фотолитография …
15Фотолитография в глубоком ультрафиолете — Схема работы литографии в EUV. Фотолитография в глубоком ультрафиолете (Extreme ultraviolet lithography, EUV, EUVL …
16фотолитография с микрозазором — prošvaisinė fotolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. near contact printing; proximity photolithography; proximity printing vok. Abstandsbelichtungslithografie, f; Abstandskopierverfahren, n rus. фотолитография с… …
17фотолитография с уменьшением для изготовления фотошаблонов — mažinamoji kaukių fotolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reduced mask printing vok. Fotolithografie mit Bildverkleinerung für Maskenherstellung, f rus. фотолитография с уменьшением для изготовления фотошаблонов, f… …
18фотолитография с последовательным шаговым экспонированием — žingsninė fotolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. optical stepper lithography vok. Fotolithografie nach dem Step und Repeat Verfahren, f rus. фотолитография с последовательным шаговым экспонированием, f pranc.… …
19фотолитография по позитивному фоторезисту — pozityvinė fotolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. positive resist lithography vok. Positivresistlithografie, f rus. фотолитография по позитивному фоторезисту, f pranc. lithographie sur le photorésist positif, f …
20фотолитография с мягким контактом — silpnojo sąlyčio fotolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. soft contact lithography vok. Softkontaktlithografie, f rus. фотолитография с мягким контактом, f pranc. lithographie à contact doux, f …
